测量速度（文本）

0.02 mm/s 至 10 mm/s；

粗糙度测量；

推荐 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s

扫描长度末尾（X 方向）

130 mm

分辨率

0.8 nm

扫描长度开始（X 方向）

0.1 mm

定位速度（文本）

0.02 mm/s 至 200 mm/s

测量范围 mm

13 mm (100 mm probe arm)

26 mm (200 mm probe arm)

扫描长度（文本)

0.1 mm - 130 mm 或 260 mm

测量力 (N)

0.5 mN 至 30 mN，可软件调整